S15. 차세대 박막 모니터링 플랫폼 심포지엄

Organizer 표성규 교수, 윤주영 교수(표준과학연구원) / E-mail: : trinitysgp@gmail.com

소개  
반도체/OLED 박막공정용 증착소재의 복합물성(증기압, 상전이, 열·화학적 안정성, 혼합물의 증기 조성비 등) 측정 기술 및 장비를 개발하고 중소기업이 이를 자체적으로 생산할 수 있도록 지원하는 모니터링 플랫폼을 구축하는데 필요한 연구 동향 및 개발결과 공유하고자 함.
특히, 챔버 결합형 in-situ광분석기를 이용한 박막 모니터링 플랫폼을 구축하고 박막에 대한 광 분석법을 개발 및 박막 분석용 다중 배열형 라만 분광 분석기 도입하여 분석기 기술을 이용한 박막 사전 평가를 통해 박막 분석 결과를 공유하고자 함.
심포지엄 세부 분야  
- 전자 세라믹스
초청연사  
- 홍상진 교수(명지대): In-Situ Semiconductor Process Monitoring and Diagnosis (실시간반도체공정진단기술)
- 양준모 박사(나노종합팹센타): Nanoscale Semiconductor and Nanoanalysis using FE-TEM(FE-TEM을 이용한 나노분석)