S13. 원자층 증착법 |
| Organizer | 허재영 교수(전남대), 한정환 교수(서울과기대) E-mail: jheo@jnu.ac.kr, jhan@seoultech.ac.kr |
| 초청연사 | |
| - 권세훈 교수(부산대): 블락공중합체와 원자층증착법을 이용한 n-ZnO/p-Si 나노다이오드 어레이 제조 - 안지훈 교수(한국해양대): 원자층증착법의 이차원 반도체 소재 및 소자 연구 응용 - 김건환 박사(한국화학연구원): Energy-efficient and reliable multi-bit resistive switching in Al2O3/Ta2O5 stacked based device - 박태주 교수(한양대): 원자층 증착법 : Si 기반 공정 이후의 양산지향형 응용 - 김성근 박사(한국과학기술연구원): 층상구조 주석황화물 박막의 원자층 증착법 - 이한보람 교수(인천대): Surface Energy Tuning by Atomic Layer Deposition for Hydrophobic Coating |